村田SCH16T-K30新品上市｜面向工业设备的6DoF惯性传感器，保障重机、测绘稳定测量

株式会社村田制作所（以下简称“村田”）将为面向工业设备的6DoF惯性传感器“SCH16T”系列新增“SCH16T-K30”（以下简称“本产品”）。本产品可遏制测量过程中由强烈振动或急速旋转引起的信号饱和（削波），无论是在液压挖掘机等重型机械的控制中，亦或是使用测量杆的测量作业中，实现稳定测量。目前已开始提供样品，预计于2026年末开始量产。

在液压挖掘机等工程机械及测量设备中，惯性传感器被用于测量加速度和角速度，以掌握设备的运动和姿态。对于这类工业设备，除了原本需要测量的设备运动外，运行过程中还可能出现传感器受到强烈振动或发生突然旋转的情况。当此类振动或急速旋转导致加速度或角速度超出传感器的测量上限时，传感器输出可能发生饱和，从而无法准确捕捉部分实际运动。因此，亟需在强振动或急速旋转等恶劣工况下，依然能稳定捕捉设备运动的传感器。

对此，村田通过专有的3D MEMS(1)技术，开发出了本产品，其搭载的加速度计可衰减频率高于200Hz的多余振动，并在1,000Hz时具有180g的饱和极限(2)，同时搭载新一代陀螺仪，测量范围较前代SCH16T-K10及SCH16T-K20（±300°/s）提升至±490°/s。本产品有助于遏制强烈振动或急速旋转引起的信号饱和，稳定捕捉设备的运动。本产品虽面向工业设备，但已通过基于车载IC可靠性标准AEC-Q100(3)Grade 1条件的性能验证。

此外，本产品配备“SCH16T”系列通用的自诊断功能，通过监测传感器自身的状态，辅助检测异常。由于软件及引脚配置也具有兼容性，因此可根据用途和所需性能方便地更换产品，有助于减少客户的设计工时。

(1) 3D MEMS：指电容式3D MEMS（三维微机电系统）。通过将硅加工成三维结构，实现较高的传感器精度、较小的单元尺寸及低功耗。

(2) 饱和极限：指传感器受到强烈振动或运动时，其内部信号达到饱和前的极限值。数值越大，表示越容易遏制由强烈振动引起的信号饱和。

(3) 本产品不适用于车载用途。

村田将继续致力于开发满足工业设备使用环境及高精度化需求的陀螺仪和加速度计技术，为工业设备的稳定运动测量作出贡献。

主要特点

• 配备可衰减频率高于200Hz的多余振动、并在1,000Hz时具有180g较高饱和极限的加速度计

• 配备具有±490°/s宽测量范围的陀螺仪

• 实现加速度计噪声密度80µg/√Hz、陀螺仪噪声密度0.0004(°/s)/√Hz、零偏不稳定性0.3°/h（均为典型值）

• −40～+110℃的宽工作温度范围

• 配备自诊断功能，并在“SCH16T”系列内具有软件及引脚配置兼容性

主要规格